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阐述喷胶机的技术参数及性能特点
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喷胶机是现代光电子产业中光刻胶涂布的重要设备。可对不同尺寸和形状的基片进行涂胶,最大涂胶尺寸达8寸,得到厚度均匀的光刻胶层,同时可对大深宽比结构的侧壁进行均匀涂胶;通过计算机系统控制器进行工艺参数的编辑和操作。
 
    全自动喷胶机的控制系统方案设计和配置。控制系统方案 本控制系统采用研华高集成度的运动控制控制器PEC-3240 为核心控制单元。 PEC-3240 采用 Intel Celeron M处理器, 支持 Windows XP Embedded 操作系统。
 
    内建4轴运动控制和32通道光电隔离的数字量I/O,集成运算、控制、双网口及串口通信等功能,功能强大,体积 精巧,非常适合于安置在喷胶机设备中。全自动喷胶机的硬件具体配置如下:硬件具体配置如下具体配置如下:硬件系统架构图上可以看到。
 
    控制系统核心采用 PEC-3240,显示与人机操作部分采用研华工业级触摸显示器FPM5151G.所用通用型输入输出点:DI 点共7个,DO点17个,其它为与伺服相关的输入输出点。4台台达伺服驱动器及电机,与 PEC-3240 上集成的运动控制卡连接控制。 其中X,Y 轴为 400W 电机,Z轴为200W电机,U轴为100W电机。
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